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学术预告:等离子体纳米涂层制备技术及应用

 报告题目:等离子体纳米涂层制备技术及应用

 报告时间:2023年9月21日(星期四)14:00-16:00

 报告地点:材料与冶金学院523会议室

 主办单位:材料与冶金学院

 报 告 人:周艳文

 报告人简介:周艳文,1966年4月出生,英国索尔福德大学表面工程专业博士,2005年入职材料与冶金学院,教授。主要从事微、纳材料的功能化及表面改性研究。先后获得国家自然科学基金资助6项,辽宁省优秀人才项目、辽宁省科技厅重点实验室项目等多项科研项目,并带领团队获批4项国家自然科学基金。在《Applied Surface Science》《Journal of Alloys and Compounds》《Surface & Coatings Technology》等期刊上共发表SCI等检索论文100余篇,发明专利10余项。

 报告内容简介:磁控溅射技术是一种利用电磁场来控制真空腔体内气体“异常辉光放电”中离子、电子的运动轨迹及分布状况的溅射镀膜的物理气相沉积技术,其具有沉积温度低、沉积速度快、所沉积的薄膜均匀性好,成分接近靶材成分等众多优点。等离子体增强磁控溅射技术(PEMS)引入热丝作为电子源,能够增加磁控溅射系统中的等离子体密度,从而控制沉积薄膜或涂层的结构,报告人以等离子体密度为切入点,介绍等离子体密度对于功能涂层的结构、性能的影响,并展示等离子体纳米涂层的应用成果。